参观演示在激动与振奋中结束。
代表们回到报告厅,心情久久不能平静。
上午剩下的时间,将由刘星海教授代表“星河计划”指挥部和调研协调组,向大会做全面、系统的调研成果汇报。
刘星海教授再次走上讲台。
与刚才参观时的兴奋不同,此刻他的表情严肃而凝重。
接下来的汇报,将决定“星河计划”能否从“可行性验证”阶段,真正转向“规模化攻坚”阶段。
他需要向全国的支持者们,交出一份扎实的“家底清单”,同时也要坦诚面临的“悬崖峭壁”。
“尊敬的各位领导,各位专家,同志们。”刘星海的声音透过麦克风,清晰地传到每个人耳中,“刚才大家看到的二维卡和‘红星一号’计算器,是我们‘星河计划’结出的第一茬果实,虽然青涩,但证明了土壤和种子的力量。而过去半年多,我们奔波数万里,进行了全国调研,所做的一切,就是为了摸清我们这片‘土壤’到底有多厚实,为了找到培育更多、更好果实的路径。”
他打开厚厚的讲稿,背后的大型幕布上,出现了“星河计划全国技术调研总览”的标题。
“我们的调研,分了两个阶段,七个核心方向,三条主线推进。”刘星海开始系统性地阐述,“第一阶段,是‘关键技术节点突破与可行性验证’。我们聚焦于当时在百工大会上发现的四项边缘技术,以及与之相关的核心单位,深入进去,看看到底有没有可能把它们‘捡起来’,拼凑成集成电路制造的雏形链条。”
他调出第一阶段调研的总结图。
“第一站在中科院半导体所,我们的‘材料基石’。成果是:他们能用区熔法提纯硅材料,实验室纯度最高能达到6个9能拉制直径一英寸的硅单晶,两英寸的成功率低于10。他们有自制的超纯水系统、化学气相沉积设备。听起来有基础,对吧?”
刘星海话锋一转:“但问题同样尖锐,6个9的纯度,对于未来的大规模集成电路,只是入门门槛。7个9乃至更高,他们目前难以企及,部分原因是检测手段跟不上。大直径硅锭制备中,热场不均匀、熔体对流不稳定,导致晶锭缺陷率高、直径控制难。更重要的是,他们的工艺严重依赖老师傅的‘手感’和‘经验’,缺乏系统化的工艺参数记录和分析,难以实现标准化、可复制的生产。”
台下半导体所的王守方教授微微低头,但目光坚定,这些问题他们自己更清楚。
“但我们不是去挑剔的。”刘星海继续说,“我们是去找合作路径的,调研组的同志提出了两条建议,第一,用‘光学记录装置’将老师傅观察熔炼炉火候的‘经验’转化为可记录的光强数据,长期积累,寻找工艺规律。第二,用透明玻璃棒和低熔点金属进行‘模型实验’,模拟熔体流动和热场分布,指导真实工艺优化。半导体所的同志们接受了这些建议,并且,‘星河计划’也会协调专业的学生力量,协助开始数据记录与分析。这就是合作,补上他们缺乏系统研究方法的短板。”
王守望方教授抬起头,脸上露出了感激和振奋的神情。
“第二站是长光所,我们的‘画笔与标尺’。”刘星海的语气带着敬意,“长光所的第一代光刻机原型,已经能稳定实现5微米线宽的图形曝光。这非常了不起!但是,距离集成电路所需的2微米、1微米乃至更高精度,差距是客观存在的。”
他列出了长光所面临的问题清单,光源稳定性、物镜像差、工作台定位精度与重复性、振动与热漂移、光刻胶标准化、套刻误差控制……,每一个都是硬骨头。
“我们没有好高骛远。”刘星海强调,“我们和长光所的同志们坐下来,确定了最务实的技术路线,先解决有无,再追求好坏。把光刻组的第一阶段目标,正式定为采用5微米工艺,实现‘红星一号’计算器模